Például Frenkel-defektusok esetén az ionok egy része elhagyja normál rácshelyét, és intersticiális pozíciókat foglal el, üresedéseket és intersticiálisokat is létrehozva. Ezek a hibák magára az anyagra jellemzőek, és nem igényelnek szennyeződéseket vagy külső tényezőket.
Hasonlóképpen, a Schottky-defektusok magukban foglalják egy pár ion hiányát a szabályos rácshelyeikről, fenntartva a vegyület általános sztöchiometriáját. Ezek a megüresedések természetesen a kristályrács kialakulása során is előfordulhatnak, és nem igényelnek idegen fajok betelepítését.
Ezért a sztöchiometrikus hibákat, például a Frenkel- és Schottky-hibákat belső hibáknak nevezzük, mivel ezek az anyag kristályszerkezetének belső tulajdonságaiból származnak, és nem tartalmaznak külső szennyeződéseket.